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[新品] 英微米晶圆表面洁净度测定仪U-III(U-III)

英微米晶圆表面洁净度测定仪U-III
供应商参考报价:¥248000
  供应商信息
· 英微米光电(武汉)有限公司 [湖北省]
  认证企业  
联系人: 曹工
所在城市: 湖北省 武汉市
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详细信息  

该系列设备通过量化表面污染数据,为半导体制造中的过程控制提供标准化依据,从而优化生产良率和产品可靠性。

传感器:第七代双激光窄光检测器,寿命>200000次

测量粒径:A 0.3um、2.5um、10um;

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒径分布误差:≤±30%

浓度示值误差:≤±30%

重复相对偏差:≤±10%FS

重叠误差:当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%

气体检测:可同时检测气体浓度,支持1-3个各种类型的气体传感器

温度范围:-40 ~ 120℃

检定标准:计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

气泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可选);

采样时间:3、6、9、12、15、30、60秒(可选);

检测模式:数量模式;质量模式; 净效模式;三种检测模式可切换

检测方式:定时检测、循环检测可设置     

报警方式:自定义数量报警值、质量报警值

限值报警:RS485信号报警或外接声光报警器

法 规 性:权限管控、审计追踪、电子记录等

合 规 性:符合ISO 21501-4,CE,JIS B9921

合 规 性:符合21 CFR Part 11

通讯接口:RS232、R485、LAN-USB

存储模式:实时存储、定时存储可设置;可存储数据无限制

打印模式:可选配微型打印机打印数据

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  求购产品名: 热门供应: 干燥机 粉碎机 离心机 切药机 洗药机 灌装机 制粒机
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