l 真正意义上的双频激光干涉仪,两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别,众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上***一家将***的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整,调整结果更准确。
l 采样频率更快,***高达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体***大速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。
l 无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。
l 信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,ZLM800型是理想的选择。
以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中,密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量,以及这两个目标在Z方向的相对变化量。