ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于微位移部件的测量，角度变化量的监测，移动平台运动情况的检测，及光刻机几何量的测量，数控机床几何量的测量，***多可实现六轴联动。具有以下性能优势：
l 真正意义上的双频激光干涉仪，两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别，众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上***一家将***的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l 采样频率更快，***高达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体***大速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l 信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，ZLM800型是理想的选择。
技术参数
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型号：ZLM800
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使用高性能数据处理器AE950 PCI
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He-Ne激光平均波长：
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632.8 nm
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激光稳频精度：
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一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
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系统精度（0-40℃时）：
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±0.4ppm
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光束直径：
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6mm (可选3.2mm)
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激光管突发***大输出功率：
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1mW (激光等级2)
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每束光可测量的轴数：
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***多6个
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线性测量距离：
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40m，可扩展为120m
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角度测量范围：
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± 15°，20m轴线范围
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平面度测量范围：
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20m行程
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直线度测量范围：
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± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
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垂直度测量范围：
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± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
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***大速度：
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4m/s，可选16m/s
80rad/s，角速度
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***大加速：
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无限制
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***高采样频率：
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内部1MHz，外部40MHz
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预热时间：
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10分钟
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精度/非线性：
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±0.3nm (角隅反射镜)
±0.1nm (平面反射镜)
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距离测量分辨率：
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0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
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距离测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
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±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
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线性度测量分辨率：
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0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
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线性度测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
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±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
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速度测量精度：
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±0.5ppm实测值
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角度测量分辨率：
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0.015μrad (3x10-3 弧秒)
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角度测量精度：
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±0.1ppm实测值
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平面度测量分辨率：
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0.015μrad (3x10-3 弧秒)
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平面度测量精度：
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±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
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直线度测量分辨率：
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36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
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直线度测量精度：
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±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
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垂直度测量分辨率：
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36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
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垂直度测量精度：
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±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
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数据接口：
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积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt » 20 ns
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数据分析标准：
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ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
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工作环境：
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温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
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储存环境：
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温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
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应用案例
以下是为中国科学院设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用案例。在***个案例中，用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动，实时测试两个摆镜对应量（俯仰、偏摆和位移）的差异情况。在第二个案例中，用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况，2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。
以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中，密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量，以及这两个目标在Z方向的相对变化量。
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ZLM800部分光路图示例和部件示意图
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